(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)创造专利请求(10)请求发布号 (43)请求发布日 (21)请求号 3.8(22)请求日 2021.08.11(71)请求人 江苏微导纳米科技股份有限公司地址 214000 江苏省无锡市新吴区漓江路11号(72)创造人 李翔袁红霞(74)专利署理组织 深圳市威世博知识产权署理事务所(一般合伙) 44280署理人 黎坚怡(51)Int.Cl.C23C 16/30 (2006.01)C23C 16/34 (2006.01)C23C 16/40 (2006.01)C23C 16/455 (2006.01)C23C 16/50 (2006.01)C23C 16/52 (2006.01) (54)创造称号复合膜及其制备办法(57)摘要本请求公开了一种复合膜及其制造的进程，所述复合膜由顺次层叠设置的榜首膜层和第二膜层组成，所述复合膜用于设置于基底上；其间，所述榜首膜层所带固定电荷的极性和所述第二膜层所带固定电荷的极性相反；所述榜首膜层的厚度、所述第二膜层的厚度、所述榜首膜层的面电荷密度和所述第二膜层的面电荷密度与所述基底的电荷密度相关。本请求供给的复合膜及其制备办法，能够根据半导体器材的需求调整复合膜的固定电荷密度，来提高半导体器材的功能。权利要求书1页 说明书5页 附图1页CN 113667962 A2021.11.19CN 113667962 A